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簡要描述：TruPlasmaDC4010 (G2)脈沖等離子體電源TruPlasma DC 4000 (G2) 系列專為困難材料的直流反應濺射而開發(fā)。以脈沖式直流電工作的該款發(fā)生器經受住尤為嚴苛的 PVD （物理氣相沉積）和 PECVD （等離子體增強化學氣相沉積）工藝的考驗，這些工藝對涂層質量與生產效率均有*要求。緊湊型直流電源可在脈沖與偏壓模式下使用——亦即兩種設備集于同一外殼！
產品型號：廠商性質：代理商更新時間：2024-01-28訪 問 量：2611產品分類
Product Category詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 應用領域 | 能源,電子,交通,汽車,電氣 |
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TruPlasma DC 4000 (G2) 系列專為困難材料的直流反應濺射而開發(fā)。以脈沖式直流電工作的該款發(fā)生器經受住尤為嚴苛的 PVD （物理氣相沉積）和 PECVD （等離子體增強化學氣相沉積）工藝的考驗，這些工藝對涂層質量與生產效率均有*要求。緊湊型直流電源可在脈沖與偏壓模式下使用——亦即兩種設備集于同一外殼！
出色的涂層質量和生產效率
數(shù)字化信號處理確保工藝穩(wěn)定并將受電弧限制的時間損失最小化。
即便工藝條件嚴苛，也能實現(xiàn)最佳結果
快速電弧處理與直流脈沖技術相結合，將基板損壞最小化。
輕松適配工藝
得益于寬泛的頻率范圍和可調反向電壓。
緊湊又堅固的結構
集成水冷裝置節(jié)省空間，減少維護工作。
快速電弧處理與直流脈沖技術相結合使微滴率降低且表面缺陷減少。受電弧限制的工藝中斷降到最少，沉積速率顯著提高。
可在寬泛的范圍內調整脈沖頻率，直流發(fā)生器還配備偏壓模式。借此可將同一臺設備用于眾多應用。精心設計的監(jiān)控工具支持您優(yōu)化工藝。
不同選項讓脈沖式直流電源以最佳方式適配您的應用。
多臺 TruPlasma DC 4000 (G2) 系列直流電源可同步運行。對于指向不同目標的多臺電源，該模式能夠實現(xiàn)電弧的同步識別。脈沖模式也可進行同步。
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